帶您詳細解析溫控探針冷熱台各部件的主要作用

　　溫控探針冷熱台是為液晶研究而設計的，為了給樣品施加電場或測量樣品的信號，在常規設備的基礎上增加了內部電極，並配有液晶池和專用送樣器。同時由於熱台腔室的密閉性，可以控製腔室內的環境氛圍，如濕度、真空或通入內部氣體，並可將熱台與紅外及X射線衍射設備聯用。它主要應用於礦物中流體包裹體及熔融包裹體，另可用於觀察各類型材料。冷熱台可在-190℃~600℃範圍內控溫，允許光學觀察和樣品氣體環境控製。

 

　　溫控探針冷熱台采用自適應PID算法，實現了高精度溫度定點控製以及高水平的溫度跟隨功能，可使微型平台快速溫度均衡。

 

　　溫控探針冷熱台各部件的作用：

　　1、樣品台：是定位晶圓或芯片的部件設備。通常會依據晶圓的尺寸來設計大小，並配套了相應的精細挪動定位功用。

　　2、光學元件：這個部件的作用使得用戶可以從視覺上縮小察看待測物，以便準確地將探針對準並放置在待測晶圓/芯片的測量點上。有的采用平麵變焦顯微鏡，有的采用數碼相機，或許兩者兼有。

　　3、操縱器：探針台運用操縱器將探針放置在被測物上，它可以很容易地定位探針並疾速固定它們。通常運用磁鐵或真空把它們固定在適當的地位。一旦固定，操縱器可以在X、Y和Z方向上精確定位探針，並且在某些狀況下提供旋轉運動。

　　4、探針：主要分普通DC測試探針、同軸DC測試探針、有源探針和微波探針等。它的尺寸和資料取決於被探測樣品的尺寸和所需測量類型決定的。其針尖直接接觸被測樣品，針臂應與針尖配合使用。

　　5、射頻探針：射頻探針的實質為適配器，將芯片測量接口轉為同軸或波導端口。罕見的射頻探針有GSG型、GS型、GSSG型等。射頻探針的主要參數有高工作頻率、探針針尖距等。目前，同軸接口的射頻探針頻率可達110GHz波導接口的射頻探針頻率高達1.1THz。

　　6、網絡分析儀：雖然傳統網絡分析儀也能無效地測量有源器件，例如放大器、混頻器和轉換器，但它們不能提供以後研發和消費工程師所盼望的精度、易用性和速度。